1日（月）。基板パラメータ調整追い込み。ざっととりきる。明日先輩といっしょに展開。準備して22時退社。 2日（火）。 9時出社。先輩と一緒にクリーンルーム入ってパラメータ展開。ひと仕事おわってこれでだいぶ楽になった。と思ったら現場から連絡あり、な…